VSM-4000-MICRO-SCAN-3D 測量MEMS系統(tǒng)的3D動態(tài)特性及形貌特性
表面形貌、動態(tài)特性分析及可視化是顯微結(jié)構(gòu)（如MEMS器件）進行測試和開發(fā)的關(guān)鍵。這對于驗證有限元算法、確定串擾影響和測量表面形變等都至關(guān)重要。
基于MEMS系統(tǒng)的一體化光學(xué)測量解決方案
基于MEMS系統(tǒng)的VSM-4000-MICRO-SCAN-3D 顯微式激光測振儀，集多種測量功能于一體，其不僅能測量面內(nèi)振動和面外振動，還能測量表面形貌。系統(tǒng)具有極高的靈活性和精度，以滿足顯微結(jié)構(gòu)未來的發(fā)展需要。顯微式激光測振儀可提供精確的三維動態(tài)和靜態(tài)響應(yīng)數(shù)據(jù)，在降低開發(fā)和制造成本的同時提高產(chǎn)品性能，從而縮短設(shè)計周期，簡化故障處理，提高產(chǎn)品產(chǎn)量。
高性能激光多普勒測振儀能快速進行實時測量，位移分辨率達亞pm級。白光干涉儀可以在幾秒鐘內(nèi)提供數(shù)以百萬計的三維表面形貌數(shù)據(jù)。VSM-4000-MICRO-SCAN-3D 的用戶界面直觀，操作簡便，是一款用于研究、開發(fā)和質(zhì)量控制的功能強大的光學(xué)測量系統(tǒng)。系統(tǒng)易于集成至常見的商用探針臺上，從MEMS原型設(shè)計到測試和故障排除，其能在各個開發(fā)階段給您提供幫助，從而降低生產(chǎn)成本并縮短產(chǎn)品上市時間。
專用于顯微結(jié)構(gòu)的一體化光學(xué)測量工作站
真正的實時測量（無需數(shù)據(jù)后處理）
亞pm級的位移分辨率
快速測量，振型可視化
操作簡便、直觀
自動化測試系統(tǒng)，易于集成至探針臺
更多VSM-4000-MICRO-SCAN-3D 詳情請跟我們聯(lián)系。
下一篇:激光測振儀 |